核心產品
典型案例
聯系我們
傳真：0731-85652275
郵箱：keyuancyq@163.com
CVD系列氣相沉積爐
| 序號 | 技 術 項 目 | 主 要 技 術 參 數 |
| 1 | 規 格 型 號 | □□CVD-□□□>連接產品規格型號編制說明 |
| 2 | 結構與安裝形式 | 圓形（方形）立式（臥式） |
| 3 | 有效裝料空間 | 10-8000L(或根據客戶要求定制） |
| 4 | 極限使用溫度 | 1150℃-1600℃ |
| 5 | 常用工作溫度 | 950℃-1500℃ |
| 6 | 最小使用壽命 | 3000次循環 |
| 7 | 溫度均勻性能 | ±5~15℃ |
| 8 | 發熱體材料 | 石墨/碳碳復合材料 |
| 9 | 適應氣氛 | 苯烯、天然氣等碳氫氣體/氮氣等惰性保護氣氛/真空 |
| 10 | 可控爐壓 | 20Pa（真空）-- 0.02MPa（微正壓） |
| 11 | 供 電 電 源 | 三相AC380V/50Hz |
| 12 | 泵 噪 音 | ≤85dB（A） |
臥式結構爐型：采用水平移動方式開關爐門（本公司專利：ZL2010 2 0139780.5），由液壓缸驅動，料臺（物料裝在料臺上）與爐門鉸接，隨爐門水平移動進出爐膛（爐子加熱區）；小型爐子的爐門采用手動倒扣人工鎖緊，大型爐子采用液壓倒扣（本公司專利：ZL2014 2 2253066.2）自動鎖緊。
立式結構爐型：采用垂直升降方式開關爐門（本公司專利：ZL2008 2 159541.9），由液壓缸驅動、鏈條帶動或電動減速機驅動、絲桿傳動（兩種方式可選），料臺與鏈條或絲桿連接，垂直升降進出爐膛；小型爐子的爐門采用手動倒扣人工鎖緊，大型爐子采用液壓旋扣自動鎖緊。為操作方便與安全，當料臺降到地面時，本公司設計有料臺從爐底移出機構供客戶選擇。
供排氣方式：大面積多點均勻進氣、大面積多管均勻抽排氣、中段多點補氣，爐內氣體近乎直線型流動。由氣體質量流量計和浮子流量計組合控制各點進氣量，耐腐蝕抗粉塵真空泵抽排氣。（本公司專利：ZL2011 2 0401891.3）
尾氣處理：采用先膠油過濾后粉塵過濾組合處理。
爐壓控制系統、加熱與溫度控制系統、電氣控制與系統保護：詳見《電氣控制系統》描述。
![](\"http://www.nkdrjj.com/cnzz.jpg\")
");
主站蜘蛛池模板：
通渭县|
格尔木市|
广德县|
庆云县|
宜兴市|
保亭|
昌平区|
尼玛县|
长春市|
邢台市|
林州市|
滁州市|
巴楚县|
广东省|
房产|
利川市|
建宁县|
博爱县|
惠来县|
曲周县|
文安县|
房产|
雷州市|
郁南县|
澜沧|
柏乡县|
温宿县|
临武县|
孝义市|
当雄县|
山西省|
乌兰县|
介休市|
乌兰察布市|
枞阳县|
繁昌县|
会理县|
嘉义县|
博罗县|
四川省|
沈丘县|